紫外线准分子灯，是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的稀有气体进行轰击发出单一的172nm紫外线，光子能量达696KJ/mol，高于绝大多数有机分子键能。利用其单一的高强紫外线，可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性，处理效果好，速度快。
产品特性
· 波长峰值：172 nm
· 灯管长度：150 mm ～ 2500 mm
· 功率范围：最大2.5 kW，5～10 W/cm
· 辐射强度：≥150 mW/cm2（灯管表面）
· 光电效率：约40%
· 半高宽度：约14 nm
· 其它波长：222 nm或308 nm
