使用准分子辐射器进行表面处理的一个重要优点：它是一种非接触技术，因此可以防止潜在的接触污染。随着时间的推移，辐射的快速启动性以及根据需要随时打开和关闭的特性是另一个优点。此外，应强调它们的高效率，并在其他波长范围内（如红外光）的低辐射量。

       波长为172nm的准分子灯管彻底改变了半导体和显示器面板行业的表面清洁方式，现在在这些领域中已成为不可或缺的工序。只有使用它们，才能有效地去除最小的有机杂质。通过准分子光辐射，较长的分子链被破坏，环境空气中产生臭氧，因此有机物质被氧化，最终形成挥发性水蒸气、一氧化碳或二氧化碳，附着在表面的有机污染物消失。